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科磊(KLA)半導體設備氣動隔振系統(tǒng)的頻率

來源：上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時間：2023-05-16 10:11

 

對于科磊(KLA)半導體設備氣動隔振系統(tǒng)和許多儀器和科學研究實驗，特別是一些涉及高精度位置檢測和微力檢測的儀器，地球脈動噪聲和環(huán)境噪聲一直是影響其性能和結果的主要因素，因此氣動隔振系統(tǒng)起著重要作用。扭轉秤系統(tǒng)通常用于驗證等效性原理或測量萬有引力常數(shù)，地面振動噪聲會對測量結果產(chǎn)生很大影響；在評估加速度計的基本噪聲時，還需要隔離地面的振動噪聲；引力波探測器的臂長約為4km邁克耳孫干涉儀組成，對環(huán)境噪聲敏感，需要性能好的隔振系統(tǒng)提供理想的慣性參考點；在重力測量中，經(jīng)典的自由落體重力儀和原子干涉重力儀都需要隔振系統(tǒng)。

地面振動噪聲的來源和強度與時間、基礎和周圍環(huán)境密切相關，頻率為0.5Hz上述噪聲來源主要是周圍環(huán)境的噪聲，如建筑物、樹木的晃動和人類活動。頻率在0.05~0.5Hz噪聲一般稱為地球脈動噪聲，主要來源是海浪撞擊海岸時在地殼中產(chǎn)生的表面波和體波，0.06~0.09Hz噪聲是沖擊產(chǎn)生的基頻，0.12~0.16Hz二次諧波的噪聲幅值往往大于基頻幅值。因此，為了有效隔離地球脈動噪聲和周圍環(huán)境振動噪聲，氣動隔振系統(tǒng)的本征頻率須至少為0.05Hz，一般浮動光學平臺或傳統(tǒng)隔振平臺難以滿足需求。

科磊(KLA)半導體設備氣動隔振系統(tǒng)實現(xiàn)超低頻隔振的方法主要有兩種。一是利用低頻加速度計等傳感器反饋控制超低本征頻率，稱為主動隔振；二是超低本征頻率不采用反饋控制，稱為被動隔振。兩者都可以等效為彈簧振子系統(tǒng)。由于超低頻水平隔振的彈簧不需要平衡振子的重力，因此水平隔振系統(tǒng)比垂直隔振系統(tǒng)更容易實現(xiàn)。

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